二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9353372 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一款具有多種特性的擴散爐及配件設備，是半導體行業人士的理想選擇。TEL ALPHA-303I包含三個較小的熔爐，稱為「模塊」，一個先進的控制系統，以及各種支持系統，設計用於半導體制造過程中鋁互連的氣相沈積和退火。有了直觀的HMI（人機接口），操作員可以從網絡內的任何終端快速輕松地設置和控制TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I。模塊化的設計使得它具有令人難以置信的靈活性，允許定制而無需購買額外的設備；用戶可以從專用模塊中進行選擇,每個模塊都提供制造各種尺寸和復雜程度的集成電路結構所需的確切規格。擴散、預爐和後爐這三個模塊完全可以互換，可以隨著時間和技術的進步而升級。通過將三個模塊作為一個單元進行控制，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I提供了幾個優於傳統系統的優勢。每個模塊的自動化和優化、流量氣體的調整以及所有組件的監控性能使這臺機器既可靠又高效。此外,TEL ALPHA-303 I能夠控制同一工具中的三個不同模塊,從而增加了流程靈活性和成本節約。配備多個傳感器的TOKYO ELECTRON ALPHA-303I可以精確監控和記錄任何工藝參數，使用戶可以輕松實時分析性能，保持最佳工藝條件。該設計還采用了腔室溫度均勻性（CTU）控制資產,該資產可自動補償擴散腔室表面溫度的任何變化,從而顯著提高熱均勻性,從而獲得更多可重復的結果。ALPHA-303I的先進設計還允許與多種其他系統和組件集成，如質量流量控制器、氣線和真空系統。這允許用戶自定義模型，以便在不犧牲可重復性或屈服的情況下從擴散過程中獲得最大性能。Alpha 303i是一種耐用、可靠的擴散爐和附件設備,它結合了性能、效率、靈活性和成本節約,使其成為大容量半導體制造的經濟高效解決方案。