二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9373070 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一種擴散爐及其附件，由四個部件組成：加熱室、負載鎖定室（LLC）、排氣泵和排氣設施。加熱室由氧化鋁管、高耐熱石墨材料、高絕緣雲母組成。腔室內部裝有鉬氣絕緣，以及氧化鋁車身和氧化鋁窗。同時，LLC用於減少樣品在室內停留所需的時間。該腔室采用交流電，由三相發電機提供動力，並包括一個內置氣體凈化器，允許高效氣體流向樣品腔室。排氣泵有助於控制加熱器室內的溫度，允許樣品緩慢加熱和冷卻。排氣設施包括風扇馬達、空氣清除過濾器和排氣管。排氣設施用於在加熱器室使用期間保持室內的通風條件。所有組件均由計算機監控和調節,從而能夠有效、精確地控制爐內的溫度和壓力。TEL ALPHA-303I還具有更強的靈活性和更大的溫度範圍。憑借卓越的性能,TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I旨在滿足包括半導體制造商在內的一系列企業最苛刻的要求。