二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9381867 待售
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ID: 9381867
晶圓大小: 12"
優質的: 2010
LP-CVD Furnace, 12"
Process: DCS-HTO
Heater type: VMM-56-306
FUJIKIN Air valve
Gas: SiH4 / SiH2Cl2 / N2O
Power requirements: Three Phase, AC 440V / Single Phase AC 208V
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i擴散爐及配件是最新的尖端工具，旨在提升半導體廠商的能力。該裝置采用三區爐設計，在整個爐的範圍內創造可重復、可預測和一致的溫度。TEL ALPHA-303I集成了微處理器控制、可編程的電源和分叉的從動臂,提供了標準爐設計中所沒有的精確度和精確度。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I擴散爐及配件也提供卓越的控制和自動化.內置顯示器提供易於閱讀的消息和自定義選項,以幫助管理溫度、周期時間等。直觀的控制面板允許技術人員根據具體的設備參數和應用要求定制他們的爐子參數。分離的溫度控制允許技術人員獨立控制不同區域的溫度設置。ALPHA-303 I旨在有效覆蓋大區域。氣體流動分布的廣泛覆蓋範圍和精確控制使得較大晶圓的熔體均勻。內置的超快速冷卻功能允許用戶在高能和低能配置文件之間快速切換,從而無需等待冷卻周期。該設備還能夠滿足小規模生產要求以及大規模、連續生產運行。TEL ALPHA 303 I擴散爐及附件還具有優良的安全系統.自動調節的溫度和氣體流量有助於保護操作員免受潛在危險情況的影響。物理安全門配有傳感器，以提醒技術人員註意打開的情況。同時,可編程安全協議可以防止未經授權的訪問和操作。總而言之,TELTEL ALPHA-303 I擴散爐及附件是一種極其可靠和安全的設備,可提供一致的性能和出色的控制水平。通過實時查看溫度數據,並提供可靠的熔融保護,TEL Alpha 303i為生產、工程和研發設施提供了絕佳的選擇。
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