二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9383406 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一種高度先進的半導體製造工具，涉及擴散爐及附件。該工具提供了最新的高端技術來生產性能先進的半導體。TEL ALPHA-303I工具具有先進的熔爐和配件，使其成為先進半導體生產過程中的可靠工具。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I擴散爐的設計旨在提供精確的計量和控制均勻性和非均勻性部件的溫度和通量。該爐采用強大的輻射監測和高等級控制熱退火技術，可實現卓越的工藝控制。高純度石英原位爐提供先進的晶圓均勻性，以及精確控制擴散參數的集成封裝。使用各種監測系統精確監測和維持擴散溫度。ALPHA-303I還采用了具有精確閉環晶片控制的通用夾具系統，以提高晶片放置精度。UCS可以存儲晶圓尺寸並自動校準每種尺寸的參數。UCS還協助優化和標準化晶圓在多個基板上的放置。該工具還具有重要的安全特性，以便在搬運和裝載基板時能夠安全操作。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I還附有擴散過程所必需的多種附件，如高溫計、氮氣單元、洗滌器、加熱器/預熱器、敏感器和熱排氣。高溫計用於監測和維護擴散參數，而氮氣單元則用於在擴散過程中冷卻底物。洗滌器用於清潔薄膜表面並限制接觸汙染。磁感器用來容納氧化和分解產生的薄膜。熱排氣用於將擴散過程中產生的任何氣體排入適當的收集區域。TEL ALPHA 303 I是一種高度先進的工藝制造工具,它提供了生產半導體所必需的各種特性和配件。由於能夠同時承受均勻性和非均勻性部件,ALPHA-303 I提供了精確的擴散參數控制,這是實現卓越工藝控制所必需的。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I集成的最新高端技術確保該設備在可靠的工具平臺中提供卓越的性能。