二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9384277 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一種帶有相關配件的擴散爐，旨在提高制造過程的效率。其先進的技術利用PID控制熱區TM技術，將間接氣體加熱、直接電加熱和逐區溫度控制算法革命性地結合起來，提供了一個最優且可重復的擴散過程。TEL ALPHA-303I設有一個四區水平循環室，可精確控制每個區的溫度。這樣可以精確控制產品溫度、溫度均勻性和維間溫差。HRC還幫助在整個擴散過程中保持均勻加熱，以確保優質的最終產品。HRC工藝還減少了基材上的熱負荷，有助於最大限度地減少工藝過程中的損傷。PID Controlled Heat Zone TM技術與可變氣體成分源室相結合,使用戶能夠為每個組件選擇最佳沈積參數。這有助於最小化流程步驟時間並最大化產量。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I也允許在擴散室中引入特殊氣體，以增強擴散過程，如摻雜劑和蝕刻劑。TEL ALPHA 303 I有一個集成的氣體線路路由和凈化系統，它使用戶能夠使用一個腔室訪問所有擴散氣體，從而使設置和轉換變得更簡單、更快。該系統還提供實時、固有的氣體純度監測和警報，防止出現有害的市場缺陷。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I附有直觀的使用者介面，讓使用者可以監控整個擴散過程，從設定到完成。通過這個界面，用戶可以訪問信息，如氣體濃度和溫度，並根據需要進行調整，以達到預期的效果。總體而言,TEL ALPHA-303 I是一種先進的擴散爐,具有許多功能,使其用戶能夠提高制造過程的效率。通過PID控制熱區TM技術、腔室設計和用戶界面的結合，ALPHA-303I是一種可靠、用戶友好的擴散爐。