二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9398273 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一種高性能擴散爐，用於終端氧化和CVD的精密設備。該裝置專為生產半導體器件而設計，包括動態隨機存取存儲器（DRAM）、閃存和微電子器件制造。這種擴散爐具有許多特點，例如溫度均勻度± 2°C，精確的溫度控制，指向精度± 1°C，溫度範圍寬200 °C-1200 °C。此外，它有一個輕巧和緊湊的晶圓加熱碗設計與弧形，使快速晶圓加熱。再者，TEL ALPHA-303I配備了多氣體碼頭、氣體面板和其他外圍儀器等各種配件。它還與TEL手套箱集成在一起，以實現晶圓的有效處理、工藝供氣和真空產生的控制。此外,字母表湯邊工具還可以使加工部分的邊緣輪廓平滑。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I還配備了設備控制器，可以方便可靠的操作和監控。這包括直觀的操作員界面和能夠自動檢測錯誤的自我診斷系統。它還有一個高壓關閉裝置，用於保護晶片免受超壓造成的損害。最後，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I由直流偏置機供電，允許處理FinFET器件。總而言之，TEL Alpha 303i是一種強大可靠的擴散爐，非常適合制造半導體器件。它提供了高度的溫度均勻性和準確性，以及各種配件易於操作。