二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9412408 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一種擴散爐及附件單元，用於薄膜沈積、分批處理、單晶片處理。該單元非常適合在矽、氧化物、氮化物等各種基板上制造薄膜。它高效、經濟高效，能夠生產高質量的膠片。TEL ALPHA-303I由擴散爐、晶片盒和負載鎖室三個基本部件組成。擴散爐是一個充滿高溫氣體的密封室，如惰性氣體、氨和氫氣，達到極高溫度。這既用於蒸發材料，也用於將其沈積在基材上。晶圓盒最多可容納54塊2英寸的基材，負責向爐子供應材料。載荷鎖室用於快速將基板轉移到晶格中而不受汙染。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I配置了許多先進的功能，包括多區溫度控制器、基板加熱設備、石英淋浴頭和強大的陶瓷紅外對流加熱器。多區溫度控制器允許溫度精度和控制整個腔室，而加熱系統調節基板的溫度。石英噴頭提供了均勻分布的氣體在基板上，有助於提高沈積膜的均勻性。陶瓷紅外對流加熱器確保了基板的精確和一致加熱，並使用戶能夠完全控制薄膜的厚度和組成。這一單元還配備了一個安全單元，旨在保護操作員免受危險情況的侵害。它有一個內置的防止未經授權進入的安全機器和一個壓力控制工具來監視擴散室內的壓力。此外，Alpha 303i還有一個監測資產，用於測量擴散爐內部的溫度、壓力和其他參數，以及反映醫療氣體和排氣系統，以促進設備的安全和高效運行。ALPHA 303 I是一種強大、可靠、可維護的擴散爐及附件裝置。它提供了精確的溫度控制和自動化的工藝，以生產高質量的薄膜的廣泛的基材。它具有多種先進的特點，是研究和商業應用的理想選擇。