二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #293594535 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8是由TEL開發的擴散爐及相關配件。它旨在支持高級沈積應用。這款高端設備包括一個2級、區域控制爐、一個獨立的工藝室，以及一個高級軟件控制包都在一個包中，用於集成處理解決方案。TEL Alpha 8提供高達2500 °C的高溫加熱範圍，過程控制精度為10：1。爐子配有強大的「跨級」溫控套件和可完全調節的氧氣傳感器，保證整個腔室的均勻性。此外，該系統還提供多種氣流控制模式和碳化矽絕緣，確保了快速、均勻的循環時間和優異的可重復性。隨附的工藝室提供耐腐蝕、低維護操作和高級工藝控制。該裝置還提供自動化材料裝卸、真空水平調節器、惰性氣體設備包、惰性氣體壓力調節器和惰性氣體歧管，用於原位和異地加工。此外，TOKYO ELECTRON Alpha 8提供了一個可定制的軟件控制軟件包，提供對所有主要工藝參數的全面控制。這包括一個功能齊全的用戶界面,其中包含圖形顯示,以便於模擬、參數調整以及針對意外情況的恢復選項。該機器還包括一個先進的數字數據采集包，用於現場監測和自動調諧。綜上所述，Alpha 8是一個強大的擴散爐和相關附件包高端沈積應用。它提供了一個大的溫度範圍，精確的控制包，和一個完全可調氧氣傳感器，以確保整個腔室的均勻性。該工藝室提供耐腐蝕、低維護操作和自動化材料裝卸。此外,TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8還配備了功能強大的軟件控制軟件包,可全面控制所有主要工藝參數。