二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #293637527 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8是專門為制造半導體晶片而設計的尖端擴散爐及配件系統。與其他型號相比,它具有卓越的均勻性、溫度穩定性和生產吞吐量。TEL Alpha 8是一款多區域工藝模塊，具有清晰的6英寸照明腔室，是業內最大的。這種高能見度有助於對擴散過程進行最佳的觀察和取樣。TOKYO ELECTRON Alpha 8具有多項高性能功能，包括高級控制器和專用遠程PC，旨在驅動均勻性和減少循環時間。其先進的多區工藝模塊具有八個獨立控制的爐區，以及最先進的送電技術，快速達到滿負荷的造價。它的大腔室還允許更大的工藝靈活性和方便地添加額外的工藝模塊的能力。Alpha 8的嵌入式控制器包括直觀的界面、易於維護的指示器和廣泛的日誌記錄功能來監視流程參數。它還包括各種各樣的程序，讓用戶可以輕松控制溫度、壓力、真空等各種過程變量。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8的尖端配件進一步提升了擴散過程體驗。其冷安裝板和自旋蝕刻器便於快速和方便的更換，而其石英船和托盤確保均勻殘留和清潔。其惰性氣體輸送系統改善了顆粒控制，為用戶提供了更大的安全性。TEL Alpha 8是尋求卓越均勻性和吞吐量的企業理想的擴散爐及附件系統。其寬大的發光腔室、強大的控制器和出色的配件範圍使其成為半導體晶圓制造的首選。