二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #293816668 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8是一種高性能擴散爐，設計用於支持最先進的MEMS材料加工技術。它具有卓越的均勻性、卓越的均勻性和卓越的可重復性，可提供超高質量的MEMS設備。此型號的負載容量可達8英寸寬,可實現廣泛的應用。其精心設計由多層保護層構成，從石英玻璃管結構開始，一直到特殊塗層的不銹鋼內室。這保證了（1）室內溫度的極佳均勻性和（2）最佳氧化控制和均勻溫度分布的優越氣流特性。此外，在爐膛周圍設置了高保護性的陶瓷絕緣層，以增加安全性。該爐可作為水平或垂直加工室操作。其緊湊的設計和可拆卸的設計使得在任何操作區域的安裝和設置變得容易。一種低氣味、環境友好的單相鹵素制冷劑用於保持室內溫度隨時間的精確穩定。與傳統的擴散設備相比,TEL Alpha 8性能卓越,能耗顯著降低。這是由於其先進的PID技術允許精確的溫度控制而得以實現的。此外，多級溫度控制系統能夠準確控制爐內擴散特性，同時保持所需的坡道速率。該爐還具有其他功能，如內置熱敏傳感器，用於監測氣體壓力和均勻性。它還包括一個用於精確溫度測量的紅外高溫計。因此，TOKYO ELECTRON ALPHA-8擴散爐能夠保證優越的產品質量，提高產量，經濟生產MEMS。