二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #9071279 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8是一種擴散爐及附件，為薄膜沈積作業帶來最高效、最經濟的性能。TEL Alpha 8具有全方位的高級工藝功能和革命性的控制體系結構,使爐子的設置、調整和監控比以往任何時候都更加輕松和高效。符合人體工程學設計和直觀的軟件使操作員能夠快速準確地調整參數、程序和訪問數據。專有的低排放設計提供了一種清潔、高效的爐子，能夠生產出一致的高質量產品。TOKYO ELECTRON ALPHA-8有一個寬敞的房間，可以容納四個直徑達2英寸的晶圓和大基板。寬敞的設計為調節甜甜圈來源和位於室內的其他元素提供了充足的空間。對於快速熱處理（RTP）應用,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8的高溫能力最高可達1275 °C,在靜態應用中最高可達550 °C。雙壁結構提供出色的墻壁之間的絕緣，防止熱量損失和最大溫度均勻性。受熱室配有用於將反應物引入系統的蒸氣源，此外還有一個獲得專利的三向關閉閥，可確保該室可以隨時隔離和清洗。ALPHA-8的溫度均勻性是通過先進的排氣系統保持的，該系統可根據各種沈積技術進行調整。內置的數據記錄系統允許操作員查看過去的數據以調查麻煩的參數或進行過程調整。可以將參數、程序和設置保存到存儲卡中，使用戶可以快速輕松地將程序信息傳輸到多個TOKYO ELECTRON ALPHA 8單元。利用板載電阻率計提供關於膠片電阻的反饋,允許用戶跟蹤過程條件中的變化,並在需要時即時調整設置。為確保最佳生產效率,TEL ALPHA-8配備了多區域控制器,可通過一個控制器控制多個區域。Alpha 8為用戶提供了一些可選的附加功能，例如用於角度沈積的旋轉晶片感光器、用於觀察薄膜沈積的石英查看器窗口以及用於RTP應用的離子源。所有這些功能都提供了滿足各種需求和流程的高級功能。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8為使用者提供先進可靠的擴散爐及配件，以滿足他們所有的沈積需求。TEL Alpha 8是一款經濟安全的選擇，具有直觀的特點、先進的控制架構、多區域控制、出色的溫度均勻性。