二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #9243886 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8是一種擴散爐和相關配件，專門設計用於支持超大規模集成（ULSI）電路制造。這種最先進的集成工具集采用了一系列先進的技術，如多氣體輸送設備、快速熱處理和多區熱壁爐。憑借這些和其他功能，TEL Alpha 8是創造尖端ULSI技術的有效工具。TOKYO ELECTRON ALPHA-8擴散爐具有加熱區設計，最多可容納8個裝載槽，以容納大尺寸晶圓。多氣體輸送系統提供多種氣體（如N2、O2和SF6），以便清潔爐子和晶圓表面，以及支持摻雜和擴散。該氣體單元由專有算法控制，以確保最均勻、最精確的氣體分散。該爐利用快速熱工藝快速退火，活化，吸入和擴散材料在晶圓表面上。這種先進的工藝可以顯著減少工藝時間，同時增加均勻性、重復性和產量。為了進一步加強這一過程，TEL ALPHA-8還采用了多區熱壁爐，在給定區域內將熱量均勻地分配給晶片。這樣可確保整個表面的溫度均勻性一致。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8是一種高度先進的擴散爐和附件套件，可以幫助制造商以前所未有的速度和精度創造ULSI技術。其多氣體輸送機、快速熱處理、多區熱壁爐提供優越的性能和無與倫比的均勻性。隨著TOKYO ELECTRON ALPHA 8，公司有一個集成的工具集，讓他們在現代ULSI制造的邊緣。