二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #9373152 待售
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ID: 9373152
Furnace, 8"
Process: Alloy
I/O Port
(126) Process wafers
No load lock
25-Carrier slots
Boat type: Single
PS4100Z Controller
Operation screen: Touch screen
Gas flow chart: Front and rear
M120 Temperature controller
Controller transformer: 208 V, Single phase
Heater transformer: 208 V, 3-Phase
Gases:
Gas 1: PN2
Gas 2: FO (4%, H2/N2)
Gas distribution:
Basic style: Conventional
Tubing material: SUS-316L
Tubing finish: VCR
Air operated valve: FUJIKIN
AERA MFC
No cold trap
No pump line
Exhaust distribution:
Air operated valve type: VCR Connect
Main valve: FUJIKIN
Wafer / Cassette handling:
No wafer alignment
(16) Cassette storage
Cassette In/Out port
Cassette handling robot
Wafer transfer
Fork material: Ceramic
Elevator handling:
Boat elevator
Auto shutter
Boat rotation
Mechanical parts
Heating chamber:
Heater type: VMM-35-001
(5) T/C Type
(5) Spike T/C.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8是最先進的擴散爐及配件，非常適合小型工程、材料科學及微電子應用。它結合了高吞吐量、可靠的生產和卓越的性能,以滿足最苛刻的要求。TEL Alpha 8采用四區水平源和先進的晶圓帶設計。這種設計可提高每小時36個晶圓的吞吐量,而且過程時間長。它具有面板視圖操作和10英寸彩色觸摸屏,用於監視和控制所有系統參數。該單元可編程為根據不同的工藝條件自行調整，使校準速度快、精度高。TOKYO ELECTRON ALPHA-8在1045攝氏度的最高溫度下運行，並具有雙固態射頻加熱系統和多個氣源，用於精確的溫度控制。它還提供了一個惰性氣體波導系統，使它能夠同時加熱和冷卻腔室。內置的安全功能包括微機控制的聯鎖、壓力監測、溫度監測以及特殊的低溫緊急停止系統。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8具有廣泛的附件,例如氣體面板、壓力控制器、過程監視器、數據記錄器以及單獨的擴展器和加載單元。還可以使用加熱的樣品負載鎖，從而使溫度從一個過程快速過渡到另一個過程。該裝置的設計符合國際上最嚴格的安全要求，旨在經受住日常磨損。總體而言，對於需要安全可靠的擴散爐的研究人員和工程師來說，Alpha 8是一個極好的選擇。它為各種材料科學和微電子應用提供卓越的性能和精確控制，其精密的操作和獨特的設計特點使其成為當今市場上領先的熔爐之一。
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