二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #9387936 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8是一種單晶片、批量操作、擴散爐設備。該系統旨在為二極管、晶體管、集成電路等半導體器件提供高性能的金屬沈積、氧化和退火工藝。該單元采用多合一設計,能夠處理從100 mm到300 mm的各種晶圓類型和大小。設有高溫帶、高速對流帶和孤立的獨立控制區。這臺機器還包括一個可編程預熱區、一個用於提高熱穩定性的低溫區以及一個用於快速維護和清潔的清潔就地CIP工具等功能。爐子還有一個數字顯示屏，讀出溫度、壓力和氣體流速數據，便於全程監控晶圓。TEL Alpha 8還具有高級軟件,可用於在不影響資產性能的情況下輕松擴展或修改流程參數。憑借其先進的功能，TOKYO ELECTRON ALPHA-8為關鍵過程提供了出色的均勻性和可重復性，使其成為研究和生產環境的絕佳選擇。