二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #9412409 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8
ID: 9412409
晶圓大小: 8"
Furnace, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8是一種最先進的擴散爐,設計用於執行氧化、退火和擴散等熱過程。它可用於多種工業應用,如半導體器件的形成、薄膜沈積、電子元件的包裝以及摻雜劑和汙染水平的控制。TEL Alpha 8采用模塊化設計,允許定制和擴展功能,並在必要時便於維護和維修。爐子本身具有高性能的石墨絕緣,使其耐散熱,並配有雙端隔熱管,提供優異的傳熱和低溫的基溫。它配備了高速風扇,有助於保持整個爐子的均勻溫度,以及氣動間隙密封設備,用於安全密封爐子,防止任何煙霧或氣體泄漏或排出。TOKYO ELECTRON ALPHA 8還配備了多種可訪問的配件,包括Sensector Cartridge, Crucible, Implantation Pin Assembly, and Heater Pack。Susceptor Cartridge在裝入爐中時用於容器化樣品,而Crucible則設計為與液態的Silicon和Germanium一起使用。植入針腳組件用於固定燈絲、口罩和植入針腳,加熱器組件用於監視和控制爐溫。Alpha 8具有高級控制功能,如真空沈積過程控制系統(VDPCS)和配方模式控制單元(RMCS)。VDPCS監視工藝條件和溫度,允許自動控制工藝和一致的結果。RMCS使用戶能夠保存、重用和修改流程配方,從而可以隨著時間的推移改進和改進結果。此外,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8有一個整體粒子監測機,有助於檢測和測量過程中可能造成汙染的粒子。這對於高精度工藝尤其重要,因為它可確保制造零件的質量和準確性。總體而言,TEL Alpha 8是一種優質擴散爐,其附件提供了一系列可以滿足各種工業應用需求的選項。其先進的控制能力、出色的傳熱工具和絕緣材料,以及易於訪問的組件,使其更加可靠和方便用戶。
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