二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 801C #293608657 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 801C是一種擴散爐及其附件，旨在提高各種工藝的效率和質量。這個特殊的封裝具有100 kW的優化電源,為高產量提供更可靠和精確的控制,以及兩臺波長範圍為0.3至5 µm的高靈敏度光學高溫計,可實現精確的溫度設置和工藝測量。額外堅固的基礎框架結構可以提高操作過程中的安全性和穩定性,而基於AI的溫度控制設備有助於確保最精確和一致的工藝條件。此外，該套件還包括兩個泵送系統，以改進對低真空、擴散和CVD工藝的控制。對於其操作，TEL Alpha 801C配備了一個控制器單元，以支持各種操作模式和設置。這可用於設置最高溫度和跟蹤間隔,以及保持精確的溫度範圍。它還設計用於自動檢測部分設備故障,確保在生產過程中最小停機時間。控制器還帶有預編程參數設置,可以根據不同的進程進行定制。標準包裝還配備了質量保證模塊，用於在加工前後測試和監控晶圓表面。這是為了確保交付最高質量的產品，並消除灰塵和金屬碎片等汙染物。它包括自動質量保證功能，以便在加工後和晶圓轉移前準確地可視化表面汙染物。最後，TOKYO ELECTRON ALPHA 801C設計為提供方便的維護和清潔，以減少生產過程中的停機時間。有幾個功能使清潔和維護能夠快速高效地處理。這包括易於維護的過濾系統、便於拆卸和更換部件的鎖定單元、用於隔離和排水部件的排水閥和腔室,以及在機器運行過程中清洗機器的自動洗滌系統。簡而言之，Alpha 801C是一種經過優化的擴散爐及其附件包裝，旨在確保在廣泛的生產過程中達到最高精度和效率。它包括最新的控制器單元、質量保證和維護功能，以及兩個用於精確溫度和過程測量的高靈敏度光學高溫計。