二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 801C #9396147 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 801C是一種下一代擴散爐和輔助設備，專為渴望移動到高級節點的FB而設計。它在晶圓制造中提供了先進的微處理技術和無與倫比的性能水平，使其成為鋁金屬化和其他各種工藝中最困難的任務的理想選擇。該系統能夠制造高質量、極薄、尺寸控制嚴密、密度高的薄膜。這是通過先進的擴散工程、超大氣流和溫度均勻性實現的。TEL Alpha 801C還設有大型石墨船和預熱區。TOKYO ELECTRON ALPHA 801C配備了強大的自動化控制裝置,可確保出色的性能。這樣,用戶就可以在速度和溫度不均勻之間取得理想的平衡,同時確保過程條件始終處於控制狀態。中央控制單元展示了具有遠程診斷功能的大型技術顯示屏，使得訪問、監控和控制過程非常容易。Alpha 801C還具有一系列卓越的安全和預防性維護功能。它具有超靈活的平臺,可輕松集成到任何標準流程中。有效的泄漏檢測機器可確保最大限度地防止高溫事故。還對加熱元件進行監控，以避免過熱時造成不必要的損壞。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 801C配備了一系列先進的氣流和溫度均勻性能力。可變流量功能允許用戶保持給定的氣流,而與刀具壓力無關,從而在過程運行期間提供更高的均勻性。資產還包括一個通用的溫度控制選項，以確保精度和精確度。總而言之，TEL Alpha 801C是一個出色的擴散爐和輔助模型，旨在滿足先進節點的嚴格工藝要求。它提供了高水平的性能和卓越的統一性。其直觀的控制設備、集成的安全性和預防性維護功能使其成為任何希望進入高級節點的晶圓廠的絕佳選擇。