二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 801D #149843 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 801D是一種擴散爐及配件。它用於包括半導體制造和研究在內的廣泛行業，在各種基板上沈積光學、電氣和熱層。它專門設計用於同時處理多種類型的材料，協助生產復雜的設備。TEL Alpha 801D是一種垂直擴散爐，帶有負載鎖和側壁構件，使其成為一個真正的多合一包裝。其石英石英工藝管（QPT）是為高溫而設計的，允許非金屬和金屬材料的擴散，具有極好的均勻性。該工藝室還配備了六區空腔加熱設備，即使在大批量產品運行期間也能提供均勻的溫度。此外，利用樣品更換能力和流量控制系統可以在整個處理周期內實現良好的熱均勻性。該爐由溫度傳感器和控制器構成，可向用戶提供有關加工室溫度條件的實時數據。此數據可顯示在控制器的液晶屏上或通過隨附的SCADA軟件顯示。該爐還配有一個集成氣體輸送系統，能夠以自動化方式引入反應物氣體，並配有一個可選的安全控制器單元，確保安全運行。TOKYO ELECTRON ALPHA 801D可以容納多種類型的底物，從2「到8」方塊，可以用可選的底物處理機處理。它還配有一種瀝青密封劑，用於更好的密封，允許更高溫度的擴散，而不會有泄漏或微裂紋的危險。Alpha 801D是一種功能強大、用途廣泛的工具，不僅能夠準確生產擴散層，還能進行高精度的熱處理。其均勻的溫度分布、高溫作業、可靠的變樣工具和集成的氣體輸送資產，確保了金屬層在各種基板上的可靠準確沈積。