二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 801D #293606609 待售
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ID: 293606609
晶圓大小: 8"
優質的: 1995
Furnace, 8"
Fork for 1 to 4
Shutter plate
Heat insulation
U-Box
Back-side panel
Flange
Exhaust duct
Anti-vibration fixture
Water cooling pipe
Exhaust pipe
Cable duct
Gas pipe
Cooling unit Box
Quarts Tube Box 1
Quarts Tube Box 2
Quarts Parts Box 3
Quarts Parts Box 4
Missing parts:
Gas box
M-dot
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 801D是為廣泛應用而設計的擴散爐及配件。該設備提供了一種高效可靠的制備和開發各種基材的方法。它有一個大型石英玻璃管,能夠處理直徑不超過9英寸的基板,可以容納輕質和溫度敏感的材料而不會失真。它還有各種各樣的加熱選項,從標準的加熱元件到先進的高溫感應加熱器。TEL Alpha 801D具有強大的高精度溫度控制功能,允許用戶在給定範圍內精確調整溫度。它包括一個內置的可編程控制器,使員工能夠針對不同的材料和應用精確調整工藝設置。此外,采用多個傳感器可以實時監測擴散過程,在801D室內提供均勻的溫度分布。TOKYO ELECTRON ALPHA 801D提供了一種高效可靠的制備和開發各種尺寸底物的方法。它有一套用於制備銅和鋁合金基板的先進氮化物家屬,能夠處理熔點低且對溫度敏感的材料。該系統改進了摻雜技術,以確保微金屬和亞微粒結構。它的其他特點包括可編程惰性氣體擴散單元、內置的高溫計和熱電偶以及真空泵。在安全性方面,Alpha 801D附有多項精密的安全特性,例如過溫機和防止爐子過熱的安全開關。它還具有多功能顯示屏,能夠監測擴散過程中的溫度。最後,它設計了一個短路保護模塊,以確保該工具不會出現任何危險的電源故障。總之,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 801D是一種擴散爐及其附件,提供高效可靠的各種基材制備和開發。它包括先進的溫度控制功能和確保其可靠運行的一系列安全功能。此外,它的高精度氮化物crucibles使得微金屬和亞微粒結構在不同的材料和應用。
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