二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 801D #293806761 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 801D是一個擴散爐和配件套件，用於制造集成電路（IC）和離散半導體元件。它是為驅動高層次集成電路制造技術而設計的，其特點是速度快，可重復性高，結果均勻性高。TEL Alpha 801D包括幾個組件。所有組件包括用於用戶輸入和操作員反饋的觸摸屏控制器。用戶可以對流程序列進行編程並實時更改設置。這允許定制特定技術。該爐由一個外櫃組成，內裝水平配置的石英管，支撐高度可變。可以調整垂直和水平方向以提高過程均勻性。石英管配有兩個雙級軸流風扇，允許緩慢和快速流動（用於快速退火）。該爐還包括一個氣體設備，它可以用H2自動為系統供電，形成氣體、N2、Ar或S-2。該爐設計用於晶圓尺寸可達300 mm,最高工藝溫度為1150 °C。擴散裝置包括電源、電源和晶圓支架。該電源采用中頻逆變器和高速開關技術，實現了高精度過程控制。該源包含一個高密度電阻靶和一個電動石英管，允許使用者在目標材料如硼、矽和熒光粉之間切換而無需手動更換。晶圓座設計用於正壓和平整控制。持有人利用一個電動底座和一個多區加熱器機器，允許用戶在多個晶片上獨立調節溫度。TOKYO ELECTRON Alpha 801D提供控制工具與遠程站點之間的無線通信。這允許用戶共享數據和編程，實時監控流程。還包括一項檢查資產，可用於監測關鍵工藝參數。Alpha 801D擴散爐及附件套件是一個強大而可靠的工具，用於IC和半導體工作。它提供自動化、高精度和改進的一致性,以提高效率和輸出。該模型專為非常大的晶圓尺寸而設計，使其適合各種應用。