二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 801D #9026274 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 801D是一種先進的擴散爐和附件，旨在使復雜集成電路結構的高效生產成為可能。TEL Alpha 801D的最高工作溫度為1200 °C，適用於包括熱氧化、化學氣相沈積和高溫鍵合在內的廣泛生產過程。其獨特的設計具有大型石英工藝室和精密校準的機電系統，保證最大程度的工藝穩定性和均勻性。TOKYO ELECTRON ALPHA 801D提供了許多先進的功能,可以提高生產效率,包括石英晶體監視器、數字溫度控制和高達每秒10°C的快速斜坡速率。該擴散爐采用數字離子泵，以極好的精度充分再現了所需的工藝氣氛。其高效的氮氣凈化機制確保了不同工藝之間不存在交叉汙染。Alpha 801D與一系列旨在最大限度地提高效率的配件集成在一起，包括樣品冷卻系統、自動開門器和射頻屏蔽蓋。它的樣品持有者組件可以方便地進入加工室和易於操作樣品。安全方面，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 801D具有緊急停車、安全互鎖和輻射監測儀等幾個先進功能。該擴散爐還與TEL專用半導體制造工藝監控軟件兼容，以提高安全性和質量。總體而言，TEL Alpha 801D是生產先進微電子結構的理想擴散爐，其先進的特點、易用性和可靠性。該爐的設計旨在幫助簡化生產流程，提高微加工工藝的效率和精度，並確保最安全的結果。