二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803 #293609357 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803是一款高性能擴散爐，專為創新工藝而設計，針對高端半導體器件開發、精準生產和性價比進行優化。TEL Alpha 803配備了高速數字信號處理器（DSP），用於精確的溫度控制和參數優化。3°C均勻度的1100 °C的最高溫度是通過其具有四面絕緣的氦冷式石英管腔實現的，使其適合於微處理器、內存芯片和功率晶體管等先進半導體器件的批量生產。這個擴散爐在相容性範圍內是獨一無二的，支撐著各種各樣的半導體材料和基板組合。TOKYO ELECTRON ALPHA 803的溫度範圍為50至1100 °C，使其適合設備級擴散過程。利用雙區加熱，可以更精確高效地控制晶圓不同部位的溫差。該爐還配備了快速反應系統，增加了整個平板的熱均勻性，能夠快速加熱而不會造成熱損傷。Alpha 803附有一套先進的配件，包括一個用於溶劑蒸氣處理的汽化器、一個用於高頻等離子體處理的氧化/燃燒室，以及一個用於監測化學反應和給出擴散速率反饋的反應監測儀。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803也具有極低的壓力容量，允許從蒸氣室進行離地電鍍，即使在極端低壓條件下也是如此。這對於晶圓的制造特別有利，因為鍍層速度更快，設備損壞最小化。TEL Alpha 803的自動主動冷卻系統可實現高溫穩定性和均勻性、可預見的系統可擴展性,以及用於高通量抽空處理的自動檢測排氣管。爐子內置的程序日誌功能對於跟蹤和回憶過去的過程和歷史記錄也很有用，允許有效的過程優化。TOKYO ELECTRON ALPHA 803是一款人性化、可靠、強大的擴散爐，適用於高端半導體器件的制造和生產。憑借其先進的特點，能夠生產出極低溫度偏差的高品質晶片，這對於微芯片植入至關重要。因此，Alpha 803對於有大規模生產要求的行業尤其有用。