二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803D #9261383 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803D是一種高度先進的擴散爐及配件設備，設計用於提供微電子器件制造的薄膜沈積和離子植入過程。它是一種雙室垂直移動性增強擴散爐系統，具有較好的工藝控制，可在可行的沈積時間內實現最佳薄膜生長。TEL Alpha 803D擴散爐裝置采用獨特的單源雙室爐設計，同時采用質量限制和重載工藝，以提高均勻性、更有效的熱力機、改進前體種類的通量、減小層厚度變化以及優異的擴散性能。此外,TOKYO ELECTRON Alpha 803D工具還包括一個高端可編程邏輯控制器（PLC）,它提供對所有資產功能（包括溫度、壓力和時間設置）,以及用於個人保護的嵌入式安全功能的完全控制。Alpha 803D型號的爐膛采用0.04英寸（1毫米）高的不銹鋼制成，提供100至1200攝氏度（212至2192華氏度）的溫度範圍。該腔室進一步配備了MIMOT增強控制技術，設計用於在控制整個腔室的溫度和均勻性時提供靈活性和精度。增強移動性技術（EMT）是一種獨有的移動性控制設備，可產生高度均勻、精細和可重復的沈積速率，同時延長擴散壽命。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803D系統具有先進的功能,在沈積、蝕刻和植入過程中提供卓越的精度、均勻性和可重復性。TEL Alpha 803D單元還擁有一整套專業配件，包括原位傳感器、高效粒子分析機、實時光學診斷工具以及多通道氣體輸送設備。這些配件極大地增強了資產的靈活性和性能,同時提供了極高的安全性和可靠性。此外，TOKYO ELECTRON ALPHA 803D模型還包括一個先進的CVD腔室，該腔室能夠產生最高的質量和沈積均勻性，從而能夠實現各種各樣的設備制造應用。總體而言,Alpha 803D設備是先進微電子器件制造的理想選擇.它具有極高的溫度和均勻性控制,其CVD和MIMOT增強控制技術具有無與倫比的靈活性,以及完整的專用附件系列,可提供高效可靠的制造體驗。