二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803D #9287449 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803D是為現代半導體器件制造和工藝開發而設計的最先進的擴散爐及配件。該產品線是TEL系列擴散爐的一部分,提供無與倫比的控制和性能.TEL Alpha 803D是用於生產和開發的通用工具,具有用於溫度分析的智能熱電偶輸入控制器和強大的數字信號處理器,可滿足流程靈活性。該爐配備了功能強大的基於PC的實時硬件和軟件設備，用於閉環數字加熱區控制和區域測量。TOKYO ELECTRON ALPHA 803D利用兩個高性能電阻加熱的工藝室--一個內坩堝和一個外部區域--具有均勻的溫度和極好的穩定性。外部區域由變頻電動機驅動，包括ID和OD、PID/PIV和時間控制。熱電偶輸入控制器提供5條曲線的溫度剖析，包括自動調諧、曲線操縱和實時反饋。Alpha 803D的設計旨在確保在擴散、氧化、氮化、合金化、退火和其他半導體加工等應用中獲得可靠和可重現的結果。該系統的工藝溫度範圍高達1000 °C,控制精度± 2°C,均勻度± 3°C,可提供一致且高質量的晶圓結果。它還具有自動化的流程計劃,便於操作,並提供整個流程的詳細反饋和分析。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803D的其他功能包括多氣體輸送裝置、安全選裝的空氣/氣體監視器和泄漏檢測機、高溫CCD照相機監視器，以及一種感光器的選擇。該工具的卓越性能通過其高品位的絕緣、防漏和腔室密封技術得到進一步提升。綜上所述，TEL Alpha 803D是一種先進的擴散爐，為半導體器件制造提供了卓越的精度、可靠性和可重復性。其多氣體輸送資產、自動化過程計劃以及溫度分析和控制功能使其成為開發和生產應用程序的寶貴工具。