二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803D #9290885 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803D是專門為滿足半導體工業需求而設計的先進擴散爐。TEL Alpha 803D具備最高的可靠性,並提供頂級性能和功能。TOKYO ELECTRON ALPHA 803D是一種多合一擴散爐，將所有的基本部件整合到一個單元中，便於設置和操作。Alpha 803D可以同時容納多達七個晶片，並且能夠以每分鐘30升的氣體流量運行至800 °C。它允許高精度的沈積過程如擴散、氧化和氮化。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803D還提供精確的溫度控制,用於在整個腔室中均勻分布的加熱。此外，TEL Alpha 803D還包括一個內置氣體系統，該系統具有自動降泵功能，可在每個沈積過程完成後控制排氣。TOKYO ELECTRON ALPHA 803D具有多項功能,有助於確保安全和高效運行。它包括一個鈦合金室和石英窗，以防止潛在的危險氣體，而點火互鎖則阻止操作員在開門時運行爐子。Alpha 803D還包括一個安全啟動計時器來控制啟動序列。其他功能包括開放的系統體系結構和在線監視功能,允許操作員從遠程位置查看和控制進程。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803D還包括一個板載自動卡帶裝載機和用於大規模應用生產的卸載機。最後，TEL Alpha 803D與一系列附件兼容，如射頻等離子體源和質量流控制器，進一步增強了它的能力。TOKYO ELECTRON Alpha 803D因其可靠性、性能和特點，是半導體加工和沈積應用的理想選擇。它的升級和全面的安全系統使得它成為任何制造設施的必備品。