二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803SC #293622215 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803SC是一種擴散爐，其附件用於生產低成本集成電路（IC）晶圓。它旨在處理各種擴散需求，包括氧化和熱氧化過程，同時提供高精度的過程控制。803SC設備由8英寸晶圓供應模塊和晶圓處理系統組成。晶圓供應模塊包含一個高精度的水平爐室，連同一個電源、一個疏散單元和一個氣體分配機。氣體分配工具為熱氧化提供了適當的大氣，溫度、壓力和流量均可精確調節。晶片處理資產采用氣體盒和非磁隔離模塊的組合，以及旋轉臂、X-Y晶片平臺和RV軌道，允許單晶片和批處理。TEL Alpha 803SC的特點是通過控制爐膛的輸出為晶片提供高度均勻的加熱。此外，803SC還包括一個氣體供應模型，該模型允許精確控制熱氧化過程所必需的氧分壓。該爐設計為提供最精確的溫度控制，以確保均勻氧化。熱阻耐火室和強制空氣冷卻設備在整個室內保持均勻的溫度分布。803SC系統還配備了多種安全功能，以確保安全運行。這包括溫度檢查控制單元、氧氣監視器/警報、真空監視器/警報和壓力安全閥。這些組件中的每一個都設計用於保護操作員、晶圓和腔室在發生意外時不受任何損壞或故障。作為一個額外的保證水平，該爐還由先進的耐腐蝕不銹鋼構成，能夠承受極端溫度和化學物質。使用803SC單元,用戶可以保持嚴格的過程控制,並提供一致、高質量的結果。該803SC非常適合在從消費電子產品到汽車產品和醫療設備的廣泛應用中生產集成電路。