二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803SC #293651969 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803SC是一種擴散爐及其相關配件。它是一種高性能的水平熱處理爐，旨在以各種方式處理各種材料。該803SC是用於加工半導體晶圓的高效工具。TEL Alpha 803SC配有一個石英管，水平穿過加工室的中心，由石英套管保護。它具有200至1175攝氏度的可調定點溫度和高達1200攝氏度的加工溫度。加工管長48英寸，最多可裝兩個25英寸晶圓。該管配有兩個可移動的電極，允許從頭到尾均勻甚至加熱。另外,電極安裝在橡膠支架上,以便安全操作。TOKYO ELECTRON ALPHA 803SC還具有高精度控制器，可用於操縱腔室壓力、溫度和清除/加載時間等參數。控制器包括觸摸屏圖形用戶界面，可用於控制腔室內的真空水平，使操作員能夠實現對最佳處理條件所需參數的精確控制。該803SC還配備了氣體控制模塊，該模塊允許將氣體添加到工藝室內，以創造所需的環境或補充工藝。它旨在與各種標準氣體兼容，並能夠控制氣體的混合，確保完成這一過程並取得預期的結果。該803SC還配有安全電路組件，包括氣體泄漏檢測系統，以及在緊急情況下保護設備和人員的熱關閉系統。總體而言，Alpha 803SC是半導體晶片的高效熱處理工具。它具有可調節的設定點溫度和用於精確控制參數的高精度控制器。它還配有安全電路組件和氣體控制模塊，用於處理不同的氣體。