二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803SD #293622216 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803SD擴散爐的設計提供了優良的產品均勻性和專門的氧化和擴散需求。該擴散爐可用於驅動多種過程，包括熱氧化擴散、淺結形成、閘門氧化物形成。TEL Alpha 803SD是一種高效的垂直式擴散爐,工藝範圍廣.它的雙盒式穿梭機設計允許通過縮短工藝時間和消除手動轉移的需要來增加吞吐量時間。一種新開發的統一控制系統通過應用特殊的統一控制程序來確保有效的統一控制。TOKYO ELECTRON ALPHA 803SD配備了先進的熱控制系統，保持高性能的過程控制而不犧牲其他過程。熱控制系統最大限度地減少因環境條件變化而產生的變化，同時提供有效的過程控制。此外,多庫設置功能可實現大面積處理和小批量生產,提高準確性,實現高效、可靠的流程。Alpha 803SD還具有低溫熱處理功能,可獲得所需的RTA和低熱預算。這種低溫熱處理可以改善氧化物化學計量控制、介電/金屬界面控制和表面粗糙度等特性。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803SD還附有各種其他特性，如化學源回填、軌道和平臺加熱、自動化化學泵送、各種I/O端口和真空再生系統。這種廣泛的功能允許在完成各種過程時提高靈活性和準確性。TEL Alpha 803SD擴散爐是為滿足最苛刻的擴散過程要求而設計的先進產品。其廣泛的工藝範圍和有效的控制確保了產品的均勻性,而其多庫設置和低溫熱處理功能使其成為實現各種工藝目標的重要工具。