二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803SD #293651970 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803SD是一種高性能擴散爐及其相關配件。該系統為各種半導體和光電材料提供準確可靠的處理。它用於CVD和PVD工藝、晶體沈積或晶圓制造等多種應用中。TEL Alpha 803SD由多種組件組成,每種組件的設計都有助於確保工藝參數保持最佳狀態。其擴散熱壁式爐膛采用21-4N不銹鋼結構，其尺寸提供了寬敞的內部容積，可提供充足的基板面積。此外，腔室的天花板和墻壁有很大的加熱面積，使得不同基板上的溫度輪廓均勻。所有操作均由易於使用、用戶友好的圖形用戶界面（GUI）控制。TOKYO ELECTRON ALPHA 803SD的高達1,000 °C的精密溫度範圍可以調整以適應各種應用。同時，其先進的均勻性控制技術旨在減少溫度區之間的變化並防止熱點。此外,還可以存儲各種配方以自動執行流程,從而確保一致地交付所需的結果。Alpha 803SD還具有多種安全功能,包括獨立的加熱區和氣閥互鎖。它還配備了強制空氣冷卻系統，與廣泛的氣體和工藝自由基兼容。它的模塊化特性確保了方便的維護和服務，堅固的結構確保了可靠的操作和延長的生命周期。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803SD是一種高性能、可靠高效的擴散爐，適用於許多應用。它的模塊化設計便於安裝和維護，而其先進的安全特性保證了安全運行。其寬廣的溫度範圍、均勻性控制、大腔室使其成為多種擴散過程的理想選擇。