二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805C #293642578 待售
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ID: 293642578
晶圓大小: 8"
優質的: 1994
Furnace, 8"
Process: TEOS
Wafer: Flat zone type
Gases configuration:
Gas supply:
Gas name / Pressure / Connection method / Unit
PN2 / 1/4" UJR / Utility box
O2 / 1/4" UJR / Utility box
TEOS / 1/4" UJR / Utility box
Exhaust:
Type of Exhaust / Flow rate
Scavenger exhaust / 3 m³/min
Process exhaust / 1 m³/min
Gas room exhaust / 1 m³/min
Cooling water:
Gas name / Pressure / Flow rate / Connection method / Used for
Furnace unit / 5 Kg/cm² / 15 / 3/4" SWG / Heater, flange
Power supply:
UPS:100 V, Single Phase, 3 kW (Controller)
Power: 208 V, 3 Phase, 30 kW (Heater chamber)
1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805C是一種多功能擴散爐，配有一系列附件，支持廣泛的應用。它旨在提供標準包裝中最精確的溫度控制。TEL Alpha 805C允許所有基板在200至1250°C之間進行精確的熱處理,並且在晶圓上具有很高的均勻性。它具有氧化、LPCVD和快速熱處理能力，可以補充高溫氮、硼酸三甲酯氮（NTMBS）、氨（NH3）、氫和氯。TOKYO ELECTRON ALPHA 805C系列擴散爐采用創新的加熱器繞組系統，確保精確的溫度管理和均勻性。該系統有助於通過更好的溫度控制來減少氣體消耗，並且高效，為氧化和LPCVD工藝提供最高工作溫度。為了最大程度地提高溫度均勻性，兩個氣區提供了整個晶圓的精確溫度控制。這種設計還有助於控制爐子的氣氛，減少任何熱梯度。Alpha 805C是為快速高效的操作而設計的,具有高吞吐量的生產能力。周期時間快，能處理周期時間短的大批量生產。為安全起見，該爐采用堅固的安全傳感器，可檢測任何過流、短路和工藝氣體不一致。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805C以其大型的原位混合碳氫化合物洗滌器，為安全高效的運行提供了清潔的環境。該爐還設計有冷卻冷凝器選項，可以安裝外部排氣風扇，以幫助減少內部溫度波動。控制面板上的7段彩色顯示屏提供了熔爐運行狀態的清晰指示。TEL Alpha 805C還能夠進行多步驟操作和工藝配方生成。TOKYO ELECTRON Alpha 805C是大批量生產應用的理想選擇，提供出色的溫度控制、快速的周轉時間和優越的均勻性。憑借其可自定義的設計和各種功能,用戶可以輕松定制以滿足他們的確切需求。Alpha 805C是擴散過程和高精度熱過程的理想選擇。
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