二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805C #293756811 待售
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ID: 293756811
晶圓大小: 8"
優質的: 1994
Furnaces, 8"
Type: LP-CVD
Process: TEOS
FUJIKIN Air valve
VMM-35-001 Heater
MFC, MFM: STEC
Gases: PN2, O2, TEOS
Operating panel
Gas flow chart panel
Panel switcher
Hardware switches
Floppy Disk Drive (FDD)
Heater chamber
Process tube (Reaction tube)
Auto-door
I/O Port
Cassette transfer
Stocker
Transfer stage
Wafer transfer
Boat elevator
Auto shutter
Scavenger
Cooling water unit
Temperature controller
Machine and pressure controller
Boat stage
(5) Fork
Signal tower
Manifold
Display
Power control system
Gas unit
Vacuum sensor
ETC
Power:
3 Phase, 208 VAC
Single Phase, 100 VAC
1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805C是一種擴散爐，有多種附件，用於基板的受控加熱和蝕刻。主室加壓，分成兩個獨立的加熱區，以最大程度的精度和控制工藝條件。主室配有兩個獨立可控的加熱元件，使主室和輔室分別保持兩個不同的工藝溫度。主室設有兩個可手動調節的架子和一個可調節的氣體噴射口。輔助室設有手動調節壓力傳感器和排氣管。TEL Alpha 805C擴散爐采用交流200V/220V或50/60 Hz的單相電源供電，並配有多種安全特性。如果出現任何異常情況,會發出超溫警告指示燈和蜂鳴器警告操作員。TOKYO ELECTRON ALPHA 805C具有直觀的LCD圖形面板顯示,以便於跟蹤工藝條件。該顯示器還具有流程配方數據存儲功能,能夠輕松監控關鍵流程參數。它還在整個過程中提供精確的溫度設定點和溫度維護，實現準確一致的擴散處理。Alpha 805C擴散爐具有多種用於薄膜蝕刻和沈積的附件。其中包括用於裝有底物的蝕刻籃，用於控制蝕刻速率的石英襯裏，以及用於調節底物之間距離的吊桿。它還帶有各種用於蝕刻和沈積過程的氣體入口配件。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805C還配備了多種附件，用於監控和控制蝕刻過程。附件的選擇包括氧氣氣體流量計和控制閥，熱電偶，以及自動PID控制器。TEL Alpha 805C擴散爐具有可重復、高精度的熱處理和蝕刻工藝。它設計用於高容量、可重復的蝕刻工藝，適合在高真空工藝環境中運行。這種擴散爐提供了可靠和準確的結果，並且可以在廣泛的工業、實驗室和教育環境中使用。
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