二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805C #293775688 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805C是一種精密的擴散爐和輔助配件，能夠處理半導體材料。它由一個最先進的333M大容量、超高速、高響應能力的控制器提供動力，用於各種氮化物和多晶矽工藝。該設備設計用於P型和N型擴散，包括多個自動化過程。TEL Alpha 805C具有很高的可靠性，提供出色的一致性和產品質量，這對於半導體生產過程中的質量保證至關重要。它是一種高度可定制的解決方案，具有快速熱處理、原位氧化和P型摻雜等特點。它提供高達1300 °C的寬溫度範圍,以及多個斜坡速率,以最大限度地提高吞吐量。TOKYO ELECTRON ALPHA 805C還提供了廣泛的過程控制功能，包括控制腔室壓力和傳熱系數。氣體管理系統由一個均勻的沖洗泵和一個冷卻液泵組成，為高精度、可重復的過程提供一個均勻的環境。它還包括一個高級溫度程序，它可以為應用程序選擇最合適的配置文件。Alpha 805C具有多種配件,可提高工作效率。它包括機械手，如晶圓（散熱器）升降機、裝載機/卸載機和溫度程序員。它還包括一個用於維修的先進室內清潔裝置和一個用於提高安全性的氣體管理機器。此外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805C配件還包括一個用於工藝集成的板載控制器。TEL Alpha 805C易於安裝和管理,非常適合生產環境。技術支持由技術熟練和經過認證的技術人員提供，技術人員集中於工藝開發和熱控制技術。TOKYO ELECTRON ALPHA 805C為生產高質量的半導體元件提供了一種價格合理且高效的選擇。