二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805CN #293622165 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805CN是一種先進的擴散爐及其配件，設計用於矽制造及相關工藝。該805CN是一種超低溫擴散爐，提供極其精確的溫度控制，減少排放輸出，提高均勻性。該805CN是一個模塊化設備，有8個單獨的熔爐堆棧，每個堆棧都可以獨立監測和操作。TEL Alpha 805CN的最高溫度為1350 °C，加熱功率高達18千瓦。擴散室配有內置氣體供應和排氣系統，使氟和氧等氣體以及矽酮等其他特殊氣體得以精確有效地擴散。它還配備了用於遠程監控的先進數字通信接口。該805CN具有創新的軟件包以及強大的控制單元,可實現復雜的過程控制。這包括溫度優化、數據記錄、自動控制和警報管理。強大的控制機器旨在實現精確和精確的預設溫度設置,並幫助確保整個擴散室的溫度分布均勻。TOKYO ELECTRON ALPHA 805CN提供多種配件。載流子模塊的設計是為了確保整個腔室的大氣均勻，增強擴散過程的均勻性。還提供了各種熱電偶、傳感器和連接器，用於精確的溫度讀數和控制。擴散室還設有對流還原蓋和熱輻射屏蔽，有助於減少熱能損失，提高工具效率，最大限度地減少顆粒汙染。805CN爐還可以與附加配件一起使用，如石英船和鐘形冷卻射流，以幫助確保一個均勻的冷卻氣氛。Alpha 805CN是一種用途廣泛的資產，適合廣泛的擴散過程。它特別適合需要非常低的處理溫度和極其精確的溫度優化的應用。該805CN具有先進的數字通信接口和各種配件，是矽制造及相關工藝的絕佳選擇。