二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805CN #293622217 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805CN是為生產半導體而設計的擴散爐。它是熱氧化、氮化矽形成和結氧化等多種應用的理想選擇。TEL Alpha 805CN是一種重型擴散爐，配有垂直石英管、原位機械脫蠟機構和可選的爐氣歧管。石英管對矽晶片汙染具有很高的抵抗力，提供出色的熱控制和工藝控制。管子設計有一個特殊形狀的入口，由兩個彈簧支撐，並由淋浴電極加熱，以促進更好的均勻性。爐式氣體歧管提供氣體流量控制，允許分開的廢物和入口氣體以及分開的冷卻和氣壓控制。它還具有獨立切換主要廢氣和回收系統的功能。集成的機械脫瓦器包括一個專門的洗滌設備，它消除了逃逸的顆粒和汙染物。TOKYO ELECTRON ALPHA 805CN進一步配備了TEL KVM-eXView（專有知識和維護-增強的eXtreme視圖），允許操作員通過基於Web的訪問在本地或遠程監視晶圓狀態、工藝條件和維護條件。該爐的設計便於安裝在各種各樣的環境中。Alpha 805CN的其他功能包括自動調平托盤交換系統、可調開口尺寸和浮動充電單元,以優化工藝可靠性。選擇性氧化過程由TOKYO ELECTRON專利均勻性控制（UC）機控制，有助於降低LPCVD過程中金屬接線層的應力和缺陷。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805CN具有廣泛的溫度均勻性和屈服解。它在廣泛的過程溫度（包括低溫過程）下提供出色的均勻性性能。它還能夠在有限的範圍內處理更高的溫度，同時保持極好的均勻性。該爐能夠維持高達1,200 °C的溫度，均勻度為+/-0.3 °C/W。總體而言，TEL Alpha 805CN是一種強大可靠的擴散爐，非常適合生產半導體。它具有堅固的設計、出色的熱均勻性和全面的控制特性。結合其高效的廢棄物清除和可選的氣體歧管，TOKYO ELECTRON Alpha 805CN是任何半導體制造工藝的理想選擇。