二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805CN #293651966 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805CN是為最大化效率而設計的擴散爐。這種堅固可靠的爐提供了統一的溫度控制、快速加熱和重要參數的精確控制。TEL Alpha 805CN適用於外延生長、矽化、聚矽沈積和植入等各種擴散應用。其特點包括高效的不規則形狀石英管、高溫設計、多離子襯裏（MIL）晶片架和E型溫度傳感器。TOKYO ELECTRON ALPHA 805CN能夠在短短四分鐘內達到1600°C，並在整個晶圓表面統一的溫度控制。Alpha 805CN還支持SAGF（基板輔助氣流）工藝，在溫度控制和多矽沈積方面進一步均勻化。多區MEL（Multi-zone External Lift）增強了均勻的溫度輪廓，以及可重復和可控的增長過程。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805CN的精確溫度控制是通過使用溫度控制器實現的；溫度傳感器和熱傳感器技術。TEL Alpha 805CN提供的E型溫度傳感器能夠測量從低於室溫到1600°C的溫度。該爐還提供了使用L（長度）型溫度控制器的選項,這是一種靈活、經濟且高效的設備,可保證精確的溫度控制和均勻性。對於多區域方法，TOKYO ELECTRON Alpha 805CN提供了一個4區域分割，也可以很容易地連接和外部控制。該爐還提供各種選項來配置和設計自己的配方擴散.此外,Alpha 805CN還提供化學機械升降機（CML）、LIN（低內壓）系統和多種氣流控制選項。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805CN還提供以下安全功能：過載保護開關、電氣再造器、自動低壓探測器、自動高溫探測器、緊急熱電偶和石英管空氣冷卻。這些特點確保了爐子的安全運行，降低了擴散過程的潛在風險。總體而言，TEL Alpha 805CN是一種有效的解決金屬化、外延和其他擴散過程的方法。它配備了必要的組件,以便為各種應用程序提供快速、高效和準確的操作。