二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805CN #9071568 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805CN是為快速、精確、高效晶圓加熱和處理而設計的高端擴散爐及配件。這種單室裝置的設計是利用兩級清洗工藝來生產一貫清潔的晶片。這個過程從氮氣和氧氣的結合開始,去除了晶片中的任何微粒。然後,第二階段使用壓力均衡沖洗氮來去除任何殘留顆粒。這種單室擴散爐采用與TEL行業領先的FPD和RTP產品相同的節能熱成像系統,並增加了離子植入模塊。此模塊允許在任何給定的過程中精確調整晶圓溫度。該爐還具有獨特的雙層垂直石英管布置,可有效加熱晶圓,從而提高加熱速率並改進晶圓平整。TEL Alpha 805CN擴散爐還包括一個高度敏感、自動化的壓力和溫度控制系統,以確保均勻煮熟的晶圓。這樣可以確保在爐中加工的所有晶片都在溫度設定點的範圍內。它還包括一個絕緣真空外套,以良好的保溫。這種絕緣確保更快的散熱和提高能源效率。TOKYO ELECTRON ALPHA 805CN擴散爐也是用戶友好和易於使用,具有直觀的觸摸屏顯示。它完全適合任何行業標準尺寸,並且與任何TOKYO ELECTRON現有產品線兼容。此外,憑借其高端能效,它在電力和維護成本方面提供了更多的節約。Alpha 805CN是一種先進的擴散爐和附件。它設計為高效、易於使用、節能、經濟高效。它非常適合任何需要可靠、經濟高效的擴散爐的供應商或制造商。
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