二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805D #293792359 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805D是半導體工業中用於制造矽晶片的擴散爐及配件。最高溫度1600°C，快速熱處理（RTP）設備，三區集成氣體控制系統。它能夠以低成本提供先進設備制造所需的最佳、均勻性。TEL Alpha 805D擴散爐有一個石英垂直式腔室，旨在提供更好的均勻性和均勻的溫度分布。石英室由上、中、下三個室組成，提供最大可控擴散環境。此外,該腔室還有一個視圖端口和聯鎖裝置,以確保安全。TOKYO ELECTRON ALPHA 805D擴散爐設有三區集成氣體控制系統。這些系統通過監測氣體供應條件和腔室環境壓力，為三個腔室中的每一個提供精確的低接觸氣體混合和流量控制。Alpha 805D擴散爐還具有快速熱處理（RTP）系統.該單元通過允許室內環境的快速加熱和冷卻來提高擴散過程的效率。機器允許用戶設置過程的加熱和冷卻速率以及時間和溫度。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805D擴散爐還包括精密真空泵。該泵可用於保持室內均勻穩定的壓力，以獲得最佳效果。它還具有高性能的溫度控制機制，保持室內溫度均勻。最後,TEL Alpha 805D擴散爐配備了先進的監測工具.此資產可用於監視每個區域和腔室的溫度和壓力,以及跟蹤與擴散過程關聯的所有參數,包括設定點、過程時間和任何錯誤。總體而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 805D擴散爐提供了一種高效、精確的矽片制造方法，以低成本提高了性能的均勻性和均勻性，提高了安全性。是適用於半導體行業的可靠、經濟高效的擴散模型。