二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805D #293806762 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805D是用於生產半導體芯片和其他電子元件的擴散爐及配件。它旨在為摻雜、熱氧化、退火等廣泛應用提供高溫、高精度。TEL Alpha 805D專為高溫操作而設計，可達到高達1800 °C的溫度。其精確再現溫度的能力使其成為大批量生產工藝的理想選擇。該系統配備了具有精確高熱恒定能力的溫度控制器，允許在± 2°C內均勻分布和熱梯度，使爐子能夠以最高精度和進動水平運行。TOKYO ELECTRON ALPHA 805D可用於一系列的擴散操作，包括光分裂摻雜（LSD）、高壓濕氧化（HPWO）和低壓幹氧化（LPDO）。LSD是一種摻雜形式，利用輕質氣體在底物材料中引起化學反應，從而產生更快的擴散速率和更低的熱預算。HPWO是一種使用高壓和濕式氧化劑（如氧氣或臭氧氣）進行氧化的過程，這些氧化劑預先混合到溶液中，然後泵入爐中。這使得氧化過程比傳統方法進行得更快、更高效。最後,LPDO是一種使用低壓、低溫氧化氣體（如氮氣）並采用較低熱預算的幹燥氧化工藝。利用Alpha 805D，可以實現高精度的高溫擴散處理。它專門設計用於廣泛的基板和材料，包括SiC基板、GaAs和GaN。此外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805D很容易集成到現有系統中，可以與VSC-8300、VSC-3000和VSC-1800控制設備集成，從而增強精度和控制。TEL Alpha 805D還具有許多安全功能和協議,包括自動關機和應急響應功能,以確保最高級別的安全和可靠性。另外，該爐由不銹鋼加熱室和惰性氣體氣流構成，具有優異的耐久性和減害性能。總體而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 805D擴散爐和附件是一個用途廣泛且可靠的系統，它提供了一系列可用於各種應用的功能。其高精度和精確度，以及安全性和可靠性，使其成為生產和制造電子元件和半導體芯片的理想工具。