二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805D #9355781 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805D是一種擴散爐和附件，旨在為高性能電子設備提供快速、可靠的擴散處理。它具有易於使用的用戶界面、高級功能和卓越的可靠性。爐子及配件采用標準的3英寸鑄錠容量，其堅固高效的氣體擴散設備在整個基板上提供均勻加熱，消除了潛在的熱點。TEL Alpha 805D配備了先進的強大溫度控制系統，包括PID控制器、自動溫度分配控制和電源故障鎖定（電源將自動切斷）。這確保了精確和均勻的擴散過程，具有可重復和可靠的結果。其溫度範圍廣，目前最高溫度為1600°C，大大提高了工藝速度和產量。該單元還具有高級自動調諧功能，可以根據基板的溫度自動調整控制設置。TOKYO ELECTRON ALPHA 805D的配件包括一個氣室、多個溫度感應器、氣體分發器和一個頂板。腔室允許快速、無湍流地引入過程氣體，確保均勻擴散過程。溫度傳感器提供精確的電流和內部烤箱溫度讀數，以及作為過程控制機器一部分的歷史數據。氣體分散器允許引入最多三種不同的工藝氣體，而不會影響整個基板的均勻加熱。頂部屏蔽實現了對過程環境的更大控制,確保了過程的可重復性。Alpha 805D是一種可靠和先進的擴散過程工具。它提供了高效、安全的擴散過程，其用戶友好的界面和自動調諧功能確保了準確性和可重復性。其最高溫度和智能特性使其非常適合高性能電子設備。