二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805D #9361888 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805D是一種擴散爐和附件,設計用於制造各種設備。它配備了可靠但功能強大的部件,在爐膛內提供精確的控制和均勻的熱量分配,最終導致更一致的裝置性能。TEL Alpha 805D是一種低溫爐,用於在400°C至800°C的範圍內擴散材料或摻雜劑。該爐的最大壓力為25 Pa,為低壓和高壓處理提供了靈活性。內室由不銹鋼構成,旨在為整個爐區提供均勻的加熱。這種熔爐模型采用了石墨增能器,其設計目的是降低功耗,同時在運行過程中提供穩定和均勻的熱分布。先進的石墨能化器也有助於提高溫度均勻性。TOKYO ELECTRON ALPHA 805D配有先進的光學診斷工具,如光學高溫計和光纜,可以讓用戶輕松有效地監控室內溫度。該模型還具有脈沖氙氣流量控制和晶圓檢測功能,有助於操作員在晶圓加工過程中控制了的氙氣流量。阿爾法805D爐配備了多種安全功能,如門上的安全鎖,溫度達到一定水平時亮起的指示系統,溫度超過設定極限時觸發的高溫警報。此外,它還包括一個緊急關閉閥,當門打開時自動關閉爐子。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805D為便於維護和長期使用而打造。石墨內飾及其可更換部件的設計易於維護,必要時可換出。總體而言,TEL Alpha 805D是一種可靠高效的擴散爐,可提供精確和溫度控制以及若幹安全措施。它非常適合低壓和高壓加工,使其成為廣泛行業的通用工具。此外,其巧妙的設計有助於促進卓越的溫度均勻性,最終導致一系列卓越的設備性能。
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