二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805DN #293622218 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805DN是一種擴散爐及附件封裝，專門為至微芯片生產而設計。該封裝由擴散爐、排氣設備和加熱的環境供氣相結合，允許用戶在精密微芯片基板上進行沈積、氧化、退火和蝕刻等高精度工藝。該擴散爐采用垂直石英管和頂部裝載機，在800-1250°C的溫度範圍內提供極好的晶圓均勻性。強大的氣體混合系統和高均勻性保證了對薄膜、溝槽和間隙蝕刻的嚴格控制，而加熱器模塊和石英管上的邊緣絕緣防止材料在芯片邊緣附近氧化。排氣裝置包括強大的吹根機、單級洗滌器和除塵過濾器，從而能夠快速、高效地清除加工氣體、顆粒物、粉塵和有害物質。加熱的環境空氣供應使用戶能夠快速創造最佳芯片性能的必要環境。TEL Alpha 805DN由一個時尚的控制控制臺操作,該控制臺采用用戶友好的觸摸屏控制,用於溫度、壓力和氣體輸入。機器也可以被編程為可重復的進程運行，允許用戶創建一個一致的、高質量的產品。此外,嵌入式傳感器允許用戶監控溫度、壓力和處理時間,確保每次都能獲得準確可靠的性能。TOKYO ELECTRON ALPHA 805DN專為高通量生產線而設計,具有一系列安全功能,包括精密的PID控制器和實時流程日誌、最大限度減少過熱和過熱的保護機制,以及帶有自動互鎖機制的門。該包適合最具挑戰性的擴散過程，是理想的大批量生產解決方案。