二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805SC #293622204 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805SC是一種高品質的擴散爐，為多種工藝提供精確的熱控制和寬廣的溫度範圍。它是設備制造等相關行業的寶貴工具。TEL Alpha 805SC旨在滿足要求最苛刻的流程的需求。它能夠產生均勻、受控且具有高均勻性和可重復性的溫度曲線。較大的腔室可以同時處理幾種基板。此外,較大的腔室體積和高達950°C的快速溫度,± 2°C的精度,確保了關鍵應用的一致結果。TOKYO ELECTRON ALPHA 805SC具有較低的熱梯度，可以在整個晶圓表面保持均勻的溫度。在三個溫度區監測和維持腔室溫度，以確保均勻加熱。它還具有一個多點爐接口，能夠與晶圓映射系統連接，從而能夠監測和控制多達28個熱電偶站點。Alpha 805SC還配備了幾個安全系統，包括氮氣凈化和水冷，以確保操作員和系統安全。此外，該爐還設計了便於維修和免維護的加熱元件，以保證正常運行。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805SC是一種高性能、可靠且高度先進的擴散爐，應用範圍廣泛。它是半導體器件制造和LPCVD、ALD、RTP、HTM等先進工藝的理想解決方案。其精確的溫度控制、寬廣的溫度範圍以及晶圓表面的高均勻性使其成為任何先進工藝的理想選擇。