二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805SCN #9215213 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805SCN
ID: 9215213
晶圓大小: 8"
Diffusion furnace, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805SCN是一種高性能擴散爐及附件包裝,為使用者提供工業強度的解決方案,以滿足其設施的擴散需求。它旨在在一個易於使用和高效的程序包中執行所有擴散過程。這包括高溫熱和化學過程。爐子本身由不銹鋼製成,並有多項功能,以確保無論情況如何,都能為使用者提供所需的性能。加熱區提供高達1200 °C的溫度,而冷卻區則確保最低40°C的轉變。爐子還有一個防熱區,防止敏感部件加熱,提供額外的靈活性。擴散過程包括兩個不同的階段:應用要擴散材料的薄層和內部加熱沈積室以激活所需的擴散過程。該805SCN有一個集成的擴散室爐,具有大的石墨敏感器,具有極好的均勻性和較大的冷卻區。集成的數字控制器可實現精確的溫度和時間控制,從而可以設置非常特定的參數。805SCN的擴散配件套件包括多個crucible、敏感器、泵、傳輸系統和裝載系統,每一個都可以互換,以保證最高品質的性能。這包括蒸發源和調節器,可在保持熱穩定性的同時精確控制沈積過程。該805SCN還配備了廣泛的流程監控工具。有真空計、熱電偶、Lambda探針等傳感器,用於精確的溫度測量和材料分析。此外,內部環境的均勻性與集成氣體分析儀和壓力調節器保持一致,以獲得最佳效果。綜上所述,TEL Alpha 805SCN是一個高性能的擴散爐和附件封裝,旨在執行所有的擴散過程,方便和高效。它有一個集成的擴散室、大型石墨敏感器和用於精確溫度和時間控制的數字控制器,以及一系列的監控和附件。它是眾多擴散應用的理想設備。
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