二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808 #9394399 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808是為半導體工業設計的先進擴散爐及配件。它是各種半導體器件生產中高溫退火工藝的理想選擇。它的設計將可靠性和易用性與復雜的自動化功能結合在一起,以確保最大效率和產品產量。該爐采用緊湊、堅固的設計，通過其數字閉環反饋系統提供卓越的熱性能。多區溫度控制器仔細調節載荷室中的溫度，每個區都有獨立的控制。這樣可以確保整個腔室的溫度均勻，並且可以提前編程以優化退火過程。此外，安裝在室內的高精度熱電偶提供精確的溫度監測和反饋。該爐適用於一系列復雜的退火過程，從堿性退火到氧化或氮化。由於直接安裝在爐體上的高性能氣體輸送系統，也可以清除汙染物和其他有害物質。該系統可以通過集成軟件手動或編程方式訪問，讓操作員輕松調整參數以優化流程。TEL Alpha 808的標準特性包括用於向加熱室註入等離子體的E-off射頻（RF）前祭壇源和內置在電源中的RF可調匹配橋。這樣可以確保所傳遞的功率具有恒定的阻抗,並允許手動調整頻率。TOKYO ELECTRON ALPHA 808配備了先進的安全功能，以保證人員和設備的安全。載荷室有一個集成的安全門，在燃燒室加熱時自動鎖定，溫度限制和壓力開關裝置提供必要的保護。Alpha 808是為半導體行業量身定制的一整套解決方案的一部分,確保客戶能夠獲得市場上最先進的產品和服務。