二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808D #9026275 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808D是一種用於半導體制造的擴散爐和附件，用於在基板層之間移動摻雜劑和其他汙染物。TEL Alpha 808D擴散爐為氧化、預清潔和外延等高通量過程提供了卓越的熱管理能力。該爐有三種模組組態：單模組、雙模組和三模組。Single模塊設計適用於中低批量生產方案。Double和Triple模塊提供必要的靈活性和可擴展性,以滿足生產需求。TOKYO ELECTRON ALPHA 808D提供垂直結構與幾個集成爐.該爐提供多達18個加熱區和五個質量流量控制器（MFC）和溫度控制。混合功率控制可使每個區域的溫度範圍更寬,最高溫度為2,000 °C。3 msec的集成系統延遲時間有助於降低損耗，實現溫度和粒子均勻性的提高。Alpha 808D擴散爐采用行業標準設計接口和協議。這使得它可以輕松地集成到現有的流程工具和系統中。基於機箱的體系結構便於安裝和維護。該爐可承受高達65公斤的負荷，可選擇使用可選的底部加熱元件來增加負荷。它還可以容納200毫米、150毫米、125mm直徑等多種基材尺寸。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808D擴散爐符合最新的安全標準,為用戶和系統提供保護環境。系統中提供了多種額外功能,如過程跟蹤、排氣反饋監測、像素分析和汙染控制。總體而言，TEL Alpha 808D擴散爐及其相關配件為處理高吞吐量工藝提供了可靠、高效和經濟高效的方法。它提供了增強的溫度均勻性和顆粒均勻性，加上出色的熱管理能力，使其成為中高批量生產的絕佳選擇。