二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808S #293765066 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808S擴散爐是半導體加工的先進工具。采用先進的空氣浮動PID溫度控制設備和多層石英烤箱，實現了一致的精度和吞吐量。當與附件安普爾註射器和熱晶片載體一起使用時，TEL Alpha 808S能夠顯著縮短循環時間，改善溫度控制，並從潛在的破壞性燃燒情況中回收卡住的晶片。TOKYO ELECTRON ALPHA 808S設計用於半導體、MEMS和微電子器件。它由堅固的3.2 kW單相電源供電,足以達到高達1300 °C的高運行溫度。它由密封不銹鋼外殼、粉末塗層鋁合金框架和耐火石英內管等眾多部件組成。使用多區溫度控制的PID溫度控制系統對爐子的溫度和活動進行監測和管理，該系統允許在整個循環過程中精確控制晶圓溫度。對於優越的氮（N2）純度，Alpha 808S采用高性能的潮解型凈化裝置，使用固態過濾器來連續純化氮。即使爐子在高溫下運行,這臺機器也能實現次ppm的氮氣輸送,這意味著該過程仍可保持高可重復性和一致性。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808S還支持一系列用於擴展工藝控制級別的附件產品。其中包括安普爾噴射器和熱晶片載體，它們允許將晶片從爐子中精確、高效和安全地轉移到其他加工工具之外。含有金屬前體的安普爾也可以很容易地輸送到爐中，以進行更精確的層壓和細節控制。這些只是使TEL Alpha 808S成為高級半導體設備制造任務的絕佳選擇的幾項功能。其卓越的設計確保了均勻的溫度和活動,同時提供了可重復的結果和始終如一的高質量性能。憑借其附件產品,TOKYO ELECTRON Alpha 808S可以在廣泛的制造要求中處理整個過程,從而提供了一種安全可靠的方法來以卓越的精確度完成最艱巨的任務。