二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808S #293775046 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808S擴散爐是一種半導體設備，用於在晶圓上沈積薄層材料。這是一個很好的解決辦法，以安全和精確的方式蝕刻和摻雜材料，同時消除許多與傳統工藝相關的手動步驟。TEL Alpha 808S配備了阻抗型等離子體源、溫度控制以及相關的控制設備，以保證可重復和一致的結果。該附件設計有獨立的供應和排氣系統，確保清潔和安全的環境。這樣可以確保所有的微粒或化學汙染物都留在腔室內，從而避免在過程中對晶片造成任何損害。TOKYO ELECTRON ALPHA 808S附件設計用於處理單個晶片以及具有多達十二個不同宏的晶片盒。晶片用卡帶夾持器固定到位，整個卡帶向上擡起，旋轉到加熱區。這樣就可以在整個批次中均勻分布熱量，從而促進更好的底物與底物的均勻性。此外，Alpha 808S還配備了先進的加熱裝置，可降低能耗並確保整個腔室的溫度均勻。控制機還包括超高真空（UHV）加熱、晶圓旋轉、側壁冷卻、功率通暢等。整個過程的時間是可調的，允許提高生產速度。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808S在沈積過程中也提供了極好的均勻性和重復性。該爐采用溫度控制，以達到並保持精度和精度。其先進的晶片旋轉機構有助於確保材料的塗層一致，溫度均勻性和可重復性有助於確保薄膜的一致性，即使在處理多個晶片時也是如此。此外，TEL Alpha 808S附件還配備了廣泛的安全工具，以避免任何潛在的汙染源。它還提供了廣泛的流程參數,為用戶提供了完全可定制的流程。該爐還設計為用戶友好，擁有直觀的控制資產和圖形顯示，以幫助操作員輕松導航加工過程。總體而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 808S擴散爐是一種用於蝕刻和摻雜的功能強大且可靠的半導體設備。它能夠提供完全可定制的過程、安全和精確的結果,以及無與倫比的晶片到晶片的均勻性,是那些尋求高效處理的人的理想解決方案。