二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC-Z #9083658 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SC-Z是一種配有多種配件的擴散爐，協助晶圓加工。這個擴散爐是對流行的Alpha 808SC模型的升級。它具有改進的溫度均勻性和晶圓接觸，使其非常適合外延生長和最苛刻的熱過程。該爐采用垂直結構設計，可選擇兩種受控大氣：N2（氮）或混合N2/H2（氮/氫）。溫度範圍為50至1000 °C，使用可選的石墨敏感器和加熱器可將最高溫度能力延長至1000 °C以上。高溫性能使得這種擴散爐非常適合先進的設備開發過程，如高k電介質和金屬閘門。這種擴散爐的顯著優點是能夠同時以4x2構型容納8個6英寸方形晶片。具有可靠吸熱氣流的高精度定位，在整個爐區內均可調節溫度均勻性。其他特性包括具有內置溫度測量能力的盒式磁帶和晶片支架，以及一系列安全特性，如內置的氮氣凈化系統，以防止氧化。此外，擴散爐支持使用符合SECS/GEM標準的軟件進行在線監測和數據收集。這使操作員能夠有效地管理整個過程，從爐子設置到晶圓處理。TEL Alpha 808SC-Z擴散爐是一種強大可靠的晶圓加工工具.它提供卓越的溫度均勻性，改善晶圓接觸，並且可以容納各種基材和加工氣體。憑借其高精度的溫度控制、高端的安全特性以及符合SECS/GEM要求的軟件，該擴散爐是先進設備開發的絕佳選擇。