二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC #9083659 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SC擴散爐是為電子器件加工而設計的最先進的制造工具。TEL Alpha 808SC是一種單晶圓垂直管式爐,能夠使矽和其他材料的氣相沈積。該爐最高運行溫度可達1000攝氏度,提供高質量的熱穩定性和均勻性。TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SC的緊湊設計使其非常適合廣泛的應用,包括先進的器件生產、制造、半導體研究和教育用途。ALPHA 808 SC爐具有兩個直接驅動的電動提升級,為處理基板和晶片提供了卓越的速度和精度。每個舞臺通過位於機器正面的觸摸屏面板獨立控制。控制面板還有一個集成控制器,配有圖形用戶界面,便於操作和糾錯能力。該設備還包括一個自動通風口系統,可安全、高效地疏散過程中使用的任何化學品。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SC設有兩條內部氣體供應線(IGSLs),允許在過程中引入最多三種不同的氣體。內置氣體混合器可確保整個管道的氣體分布均勻,從而提高工藝均勻性,提高產量。為了最大限度地提高效率,該機組還擁有一臺自動化的壓力和溫度控制機,可以為每個應用程序獨立調整工藝參數。TOKYO ELECTRON ALPHA 808SC附有一種先進的晶圓傳遞工具,可以安全有效地裝載和卸載基板。傳輸資產可以容納各種晶圓尺寸,最大直徑為6英寸。該模型與幾種機器人模型兼容,允許在擴展過程中甚至高速加載和卸載晶片。Alpha 808SC是一種經濟高效且可靠的熔爐,旨在滿足最苛刻的制造和研究需求。先進的特性和控制能力使其成為生產各種電子產品和半導體的理想選擇。TEL ALPHA 808 SC可以幫助節省時間和金錢,同時仍能提供優異的性能和質量效果。
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