二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SCE #9097867 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SCE Diffusion Furnace是一種高性能、高品質的設備，設計用於半導體制造中高度精確的晶圓加工。TEL Alpha 808SCE配備了TEL專利的CX系列控制器，提供即時溫度控制和均勻性，可實現生產率提升和可靠的高質量效果。TOKYO ELECTRON ALPHA 808SCE提供了多種先進的特性，如漸進式爐載、低能冷卻、自動濕氣密封，以及快速、精確的溫度和壓力控制。其先進的自動恢復功能允許輕松操作,使操作員能夠在整個處理過程中快速恢復過程控制並保持適當的晶圓溫度。此外，擴散系統的應力均衡特性有助於最大限度地減少扭曲形狀的變化，使晶圓產量高，並進一步提高質量。Alpha 808SCE配有幾個附件,旨在增強工藝能力。其中包括間隔器旋轉單元（SRU）,該單元可優化對齊並增強均勻性。履帶裝置使您可以輕松地從腔室加載和卸載晶片,而穿梭裝置可確保在腔室內輕松移動,同時最大限度地減少汙染和工藝變化。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SCE通過各種工廠升級選項進一步增強,包括額外的溫度區、額外的壓力傳感器和多達30個額外的區域,以優化均勻性。改進冷卻板（ICP）是可升級的冷卻裝置,旨在通過顯著減少冷卻晶片所需的時間來改善層輪廓和縮短循環時間。TEL Alpha 808SCE還配備了增強型大氣控制機（EACS）,可在處理過程中管理、監控和保持最佳氣氛。TOKYO ELECTRON ALPHA 808SCE旨在提供高水平的性能和可靠性,同時支持各種工藝要求。Alpha 808SCE擴散爐的先進技術和彈性保證了最大的生產率提高和最佳的設備性能。